FOM Valorisatie Prijs 2010 voor Fred Bijkerk

De Stichting FOM heeft de FOM Valorisatie Prijs 2010 toegekend aan prof. dr. Fred Bijkerk van het MESA+Instituut voor Nanotechnologie aan de Universiteit Twente en het FOM-Instituut voor Plasmafysica Rijnhuizen.

Hij ontvangt deze prijs ter waarde van 250.000 euro voor zijn werk op het gebied van multilaag optiek voor licht met korte golflengte, zoals Extreem Ultraviolet (EUV) licht. De prijs dient als inspirerend voorbeeld voor andere onderzoekers om kennisbenutting uit fysisch onderzoek te stimuleren.

Fred Bijkerk (55) van de Universiteit Twente en FOM-Instituut voor Plasmafysica Rijnhuizen heeft dit jaar de FOM Valorisatie Prijs toegekend gekregen voor zijn werk op het gebied van multilaag optiek voor licht met een korte golflengte. De prijs, bestaande uit 250.000 euro, dient als inspirerend voorbeeld voor andere onderzoekers om kennisbenutting uit fysisch onderzoek te stimuleren.

Het onderzoek
De ontwikkeling van nieuwe technologieën voor het maken van volgende generaties halfgeleiderstructuren gaat stormachtig snel. De resolutie van de lithografische projectietechnologie speelt daarbij een sleutelrol en deze vraagt om steeds kortere golflengten van het gebruikte licht. EUV lithografie is een veelbelovende technologie die nu wordt uitontwikkeld om in de toekomst te voorzien in fabricage van halfgeleiderstructuren van zo'n twintig nanometer en kleiner. Bijkerk is in staat geweest zijn wetenschappelijke resultaten direct inzetbaar te maken voor de ontwikkeling en productie van EUV spiegels voor industriële toepassing. Zo heeft hij ondermeer de eerste afbeeldingen in Europa gemaakt met behulp van EUV licht en speciale spiegels hiervoor en het wereldrecord voor EUV reflectiviteit en levensduur van multilaagspiegels gevestigd.

Fred Bijkerk
Bijkerk is hoofd van de nanolayer Surface and Interface Physics afdeling van FOM Rijnhuizen en tevens hoogleraar aan de Universiteit Twente. Naast vele wetenschappelijke en technische publicaties hebben Bijkerk en zijn afdeling dertig octrooien ontwikkeld op het gebied van multilaagspiegels, EUV stralingsbronnen en -detectiesystemen, met inbegrip van fabricagemethoden, en gebruikstoepassingen in de fotolithografie en fluorescentieanalyse. Volgens de selectiecommissie is Bijkerk in staat geweest om zijn wetenschappelijke onderzoeksresultaten direct in te zetten voor de ontwikkeling en productie van multilaagspiegels voor enkele industriële toepassingen.

Over de prijs
De FOM Valorisatie Prijs is ingesteld door de Stichting voor Fundamenteel Onderzoek der Materie om kennisbenutting van fysisch onderzoek te stimuleren. De prijs wordt jaarlijks uitgereikt aan een onderzoeker (of groep van onderzoekers) werkzaam in de fysica aan een Nederlandse onderzoeksinstelling die erin geslaagd is resultaten uit het eigen onderzoek tot nut voor de maatschappij te maken.